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Sensori di pressione a semiconduttore
Si prestano a numerose applicazioni nei settori medico e industriale, ma il loro ampio range di pressione, e la loro robustezza, li rendono particolarmente indicati per il settore automobilistico: ad esempio quali elementi per la misurazione della pressione idraulica nei sistemi ABS, o per la misurazione della pressione dei freni aerodinamici e delle trasmissioni pneumatiche.
I sensori di pressione piezoresistivi sono costituiti da un chip di silicio, la cui proprietà è quella di variare la propria resistenza quando viene sottoposto a uno stress meccanico. Keller è una delle società leader nel trattamento di processo sul chip di silicio che, provvisto di resistenze, costituisce una sorta di ponte di Weathstone.
Di norma si parte da un chip di tipo N diffuso di Boro fino a creare gli strati di tipo P che, in questo ambito, costituiscono le resistenze. Due le cause primarie, da sfruttare, dell'effetto piezorestivo: una longitudinale, che dà luogo a un incremento della resistenza; l'altra trasversale con una diminuzione.
Nel processo produttivo il fattore più complesso riguarda la realizzazione meccanica del sensore e il fissaggio sul supporto metallico. Un esempio significativo è dato dal sensore piezoresistivo Keller serie 27 W.
